空氣過濾器是為人類呼吸保護用具而被開發的，一次世界大戰期間， 出現了以石棉纖維為濾料的防毒氣面具。后來美國成立了專門的過濾紙發開組， 開發出木纖維、石棉、描畫的混合纖維濾料。隨后以玻璃纖維為濾材的高效過濾器（High Efficiency particle air filter）在美國問世，用于房間的空氣凈化。

　　七十年代，采用超細玻璃纖維過濾材料的高效過濾器（HEPA）對大于等于 0.3 μm 的威力過濾效率高達 99.9998%。隨著大規模集成電路的發展，日本又開發出針對0.1μm 的微粒的超高效過濾器，其過濾效率達到了99.9995%以上。美國IEST 把該過濾器命名為 ULPA。和 HEPA 相比，ULPA 過濾效率更高。ULPA 過濾紙的研制成功和開發利用，為集成電路、自動化儀表和航天航空等尖端技術的飛躍發展， 提供了對所需空氣進行高度凈化的工作環境。